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噴膠機(jī)是現(xiàn)代工業(yè)中新興的自動(dòng)化設(shè)備，可對不同尺寸和不同形狀的產(chǎn)品進(jìn)行噴膠。噴膠機(jī)的使用性能主要有噴涂形狀可調(diào)、膠量大小可調(diào)、供膠回吸量可調(diào)、可對不同粘性的膠水進(jìn)行噴涂、噴膠室易于清洗等要求。

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1.可用于對不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8寸。
2.可對不同粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
6.可手動(dòng)卸載基片。
7.噴膠室易清洗。
8.供膠流速和流量可編程。
9.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
10.適用于所有光刻膠和聚合物。
11.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測量膠量，并具有膠液回吸功能。
12.基片可對準(zhǔn)。