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噴膠機(jī)是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備?？蓪?duì)不同尺寸和形狀的基片進(jìn)行涂膠，最大涂膠尺寸達(dá)8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時(shí)可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進(jìn)行均勻涂膠；通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制器進(jìn)行工藝參數(shù)的編輯和操作。

噴膠機(jī)對(duì)噴膠的關(guān)鍵使用性能要求如下：

1.可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8”。

2.可對(duì)不粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。

3.可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。

4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。

5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。

6.可手動(dòng)卸載基片。

7.可對(duì)基片喝夾具加熱。

8.噴膠室易清洗。

9.供膠流速和流量可編程。

10.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。

11.適用于所有光刻膠和聚合物。

12.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測(cè)量計(jì)，并具有膠液回吸功能。

13.基片可對(duì)準(zhǔn)。

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