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1.噴膠機(jī)可用于對不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8寸。
2.可對不同粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
5.供膠流速和流量可編程。
6.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
7.適用于所有光刻膠和聚合物。
8.噴膠機(jī)具有自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測量膠量，并具有膠液回吸功能。
9.基片可對準(zhǔn)。
10.計算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
11.可手動卸載基片。
12.噴膠室易清洗。